チラーってなに?

チラーとは

チラーは、水(液)を循環させて目的の試料、または装置(装置の一部)を冷却、温度制御する装置の総称です。
おもに冷却することを目的とすることが多いことから【Chiller(chill=冷やす)】と呼ばれています。水道水をそのまま装置に流して冷やしたりすることもありますが、代わりに冷凍機やヒータを用いて水(液)を温度調節して循環させます。

チラーの種類

チラーは、目的の試料または装置(装置の一部)から熱を奪い冷却します。奪った熱はチラー自身が排熱を行なう必要があります。
チラーの冷凍機には、2種類の排熱方法(空冷式と水冷式)がありそれぞれ選択ができます。

空冷式冷凍機 水冷式冷凍機

チラー内にファンモーターを内蔵しており、設置が簡単です。室内に排熱が発生するので、狭い場所では排気設備が必要になることがあります。

冷凍機用冷却水が必要になります。冷却効率に優れていて、室内に排熱を発生させません。

EYELA空冷式冷凍機搭載製品 EYELA水冷式冷凍機搭載製品
ACE-2000型、CCA-1112A・S型、CA-1116A型、CA-1113・1330型、CA-1115型シリーズ
CAE型シリーズ、CA-2600・2610型シリーズ
CA-3110・CA-4310型シリーズ、NCC-3000型シリーズ、CTP-1000・3000型、NCB-1210A・B型、NCB-2410型
CA-3310・CA-4310型シリーズ
NCC-3100型シリーズ

また、循環方式に関しても2種類の方式(開放系と密閉系)があります。
チラーで温調された水(液)をどこに循環させるかによって、チラー内部の構造が変わってきます。
「密閉された熱交換器のような循環先」または「お風呂の様な水槽」によって選択できます。

密閉系循環方式(密閉された熱交換器のような循環先) 開放系循環方式(お風呂の様な水槽)
EYELA密閉系循環方式のチラー EYELA開放系循環方式のチラー
ACE-2000型、CCA-1112A・S型、CA-1116A型、CA-1113・1330型、CA-1115型シリーズ
CAE型シリーズ、CA-2600・2610型シリーズ
CA-3110・4110型シリーズ、CA-3310・4310型シリーズ、NCC型シリーズ、NCB-1210A・B型、NCB-2410型
CTP-1000・3000型

チラーの使用例とその導入のメリット

半導体製造分野

納入事例

洗浄装置、プリンティングマシン、自動はんだ付装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、マスクプランク製造装置、パターン形成装置、レジスト処理装置、エッチング装置、水冷ペルチェの冷却、薄膜形成機、ウェハ検査装置、ダイシングマシン、グラインダー、ポリッシングマシン、ラッピング装置、パッケージング装置など

産業機械・工作機械

納入事例

レーザー加工機、プラズマ溶接機、抵抗溶接機、自動包装機、金型の冷却、印刷機械、メッキ槽、フィルム・チューブ引出装置、射出成型機、混練機、研削盤、電気炉の冷却、乳化機、高温真空炉の冷却、精密研磨、研削機など

研磨機:研磨する時に発生する熱の温調に使用
研磨製品の品質が安定します
樹脂成型機:射出成型機ノズル部分の冷却に使用
出来上がり製品の品質が安定します

分析装置

納入事例

X線回折装置、粘度計の恒温、原子吸光光度計、電子顕微鏡の光源部、オートサンプラー恒温部、質量分析計の拡散ポンプ、元素分析装置、発光分析装置、ICP発光分光分析装置の光源部、物理量・物性測定装置、赤外線分光光度計の発熱部、MASS、GC、LC、FT/IR、NMRなど

電子顕微鏡:電子顕微鏡の光源部熱源の冷却に使用
光源部の故障が少なくなります